5英寸近距離蒸發(fā)鍍膜爐是一款快速熱處理爐,其爐腔體是-直徑為12英寸的石英管。 此款設(shè)備專[門實(shí)際針對于熱蒸發(fā)或于頂部和底部) , *大升溫速率為20°C/s。采用PID方式進(jìn)行溫度調(diào)節(jié),可設(shè)置30段升降溫程序。儀器面板上安裝有RS485接口,可配用控制軟件將升溫程序和溫度曲線都導(dǎo)入到電腦中。對于探索新一代的薄膜太陽能電池,如CdTe.硫化物和鈣鈦礦結(jié)構(gòu)太陽能電池,這是一款理想的實(shí)驗(yàn)工具。

蒸發(fā)鍍膜爐技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	5英寸近距離蒸發(fā)鍍膜爐
產(chǎn)品型號	CY-EVH350JJL-5"-Q
樣品臺	外形尺寸	5"x5"
	轉(zhuǎn)速	1-20RPM
	可調(diào)溫度	≦950℃
熱蒸發(fā)源	20個紅外燈管作為加熱元件
真空腔體	腔體尺寸	350 mm Dia x 300 mm h
	觀察窗口	100 mm
	腔體材質(zhì)	高純石英
	開啟方式	前開門式
膜厚測量	晶體膜厚測量儀（也可選膜厚控制儀）
真空系統(tǒng)	配有一套分子泵系統(tǒng)
	系統(tǒng)真空	1×10-5Pa
流量計(jì)	兩路浮子流量計(jì) 16 -160 mL/m  500 - 5000 mL/m
工作溫度	每個加熱器的*高溫度：RT-950℃。 兩個加熱器之間的*大溫差：<= 300oC 取決于兩個加熱器之間的間距：間距 30mm *大。 溫差：315oC @ 僅加熱底部
溫控系統(tǒng)	兩個精密的溫控系統(tǒng)分別獨(dú)立控制上下兩個加熱區(qū)，可設(shè)置30段升降溫程序 每個溫控系統(tǒng)都帶有超溫和斷偶保護(hù)
水    冷	循環(huán)水冷機(jī)（KJ-5300型，16L/min)
控制系統(tǒng)	CYKY自研專業(yè)級控制器
其他參數(shù)	供電電源	208V 60HZ  三相
	整機(jī)尺寸	600mm×650mm×1500mm