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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:三路質(zhì)量流量計

  • 產(chǎn)品型號:CY-3Z
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
產(chǎn)品特點:1.選擇多種氣體方式;2.304不銹鋼管芯,耐腐蝕;3.不銹鋼雙卡快速接頭,連接方便,無泄漏。
詳情介紹:


○ 適用范圍
1.半導體制造業(yè)
2.真空鍍膜設備
3.特殊材料表面處理
4.燃氣控制
5.泄漏檢測系統(tǒng)
6.環(huán)境檢測分析設備
7.化學,石化,冶金,光纖等


○ 產(chǎn)品特點
1.選擇多種氣體方式
2.304不銹鋼管芯,耐腐蝕
3.不銹鋼雙卡快速接頭,連接方便,無泄漏

○ 技術(shù)參數(shù)

功能

三路質(zhì)量流量計

質(zhì)子流量控制器

工作溫度:5~45 oC
*大壓力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重復精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM 
三路: 1~499 SCCM 
注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用

輸入電源

AC 220V/50Hz單相

功率

150W

機械壓力表

有一機械壓力表安裝于前面板上,與混氣罐相連接

量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

針閥

316 不銹鋼

通氣管道

內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管 

外部通氣管道為1/4”聚四氟管 

混氣罐

Φ80X120mm

截止閥及配件

316不銹鋼針閥 

Φ1/4” 不銹鋼管

外形尺寸

600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

質(zhì)量認證

CE認證

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終身維護

豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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